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【特徴】熱式流量センサーは外部温度影響を受けにくいです。スタート時のフローサージ現象を抑制します。【仕様】型番:C1005フルスケール流量-ガス種:2SLM-Arガス種類:Ar流量精度:±2%FS(精度保証範囲15~35℃)応答性:6sec流量制御範囲:5~100%FS入出力:アナログ信号(0~5VDC)バルブ形式:N/Oノーマルオープン再現性:±0.2%FS動作圧力範囲:50~300kPa耐圧:1MPa(G)外部リークレート:1×10-7Pa・m3/sec(He)以下接ガス部材質:SUS316、PTFE、フッ素ゴム接続:1/4in.SWL相当電源:+15VDC±5% 60mA、-15VDC±5% 150mA通信方式:アナログ0~5VDC(D-Sub9Pinコネクタ)サイズ:127×25.5×100mm
商品名 | 3-5071-03 マスフローコントローラー 2SLM-Ar C1005 |
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商品コード | 3-5071-03 |
会員価格 | 104,000円*(税抜き) |
JANコード | 4589645250385 |
発注単位 | 1個 |
発送目安 | 申込後18日程度 |
カタログ | 研究用総合機器2019・サンクアスト2019 |
メーカー |
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