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【特徴】熱式流量センサーにより、温度補正回路無しで高い流量精度です。スタート時のフローサージ現象を抑制します(30秒以上のインターバルが必要)。【仕様】型番:C1020-4S2-10L-He流量(SLM):10ガス:He流量精度:±2%FS(精度保証範囲15~35℃)再現性:±0.2%FS流量制御範囲:5~100%FS流体:気体使用可能温度:5~50℃ 85%RH以下応答性:6sec動作圧力範囲:50~300kPa耐圧:1MPa(G)外部リークレート:1×10-7Pa・m3/sec(He)以下接ガス部材質:SUS316・PTFE・フッ素ゴム表面処理:機械加工仕上げ継手:1/4in.SWL相当入出力:アナログ信号(0~5VDC)バルブ形式:N/O ノーマルオープン駆動電源:+15VDC±5% 60mA、-15VDC±5% 150mA通信方式:アナログ0~5VDC(D-Sub9Pinコネクタ)サイズ:160×33.6×105mm
商品名 | 3-6946-04 マスフローコントローラー 10SLM He C1020-4S2-10L-He |
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商品コード | 3-6946-04 |
会員価格 | 120,000円*(税抜き) |
JANコード | 4589645250972 |
発注単位 | 1個 |
発送目安 | お問い合わせください |
カタログ | 研究用総合機器2019・サンクアスト2019 |
メーカー |
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