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【特徴】熱式流量センサーにより、温度補正回路無しで高い流量精度です。スタート時のフローサージ現象を抑制します（30秒以上のインターバルが必要）。【仕様】型番：C1020-4S2-20L-He流量（SLM）：20ガス：He流量精度：±2％FS（精度保証範囲15～35℃）再現性：±0.2％FS流量制御範囲：5～100％FS流体：気体使用可能温度：5～50℃ 85%RH以下応答性：6sec動作圧力範囲：50～300kPa耐圧：1MPa（G）外部リークレート：1×10-7Pa･m3/sec（He）以下接ガス部材質：SUS316・PTFE・フッ素ゴム表面処理：機械加工仕上げ継手：1/4in.SWL相当入出力：アナログ信号（0～5VDC）バルブ形式：N/O ノーマルオープン駆動電源：+15VDC±5% 60mA、－15VDC±5% 150mA通信方式：アナログ0～5VDC（D-Sub9Pinコネクタ）サイズ：160×33.6×105mm
| 商品名 | 3-6947-04 マスフローコントローラー 20SLM He C1020-4S2-20L-He |
|---|---|
| 商品コード | 3-6947-04 |
| 会員価格 | 120,000円*(税抜き) |
| JANコード | 4589645251023 |
| 発注単位 | 1個 |
| 発送目安 | お問い合わせください |
| カタログ | 研究用総合機器2019・サンクアスト2019 |
| メーカー |
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