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【特徴】ウエハ、ガラス基板など極薄のワークを均一に加熱します。ワークは真空吸着により固定できます。付属の温度調節器で精密温度制御が可能です。【仕様】プレートサイズ:Φ6インチ表面処理:金メッキ<ホットチャック部>チャック可能サイズ:Φ2~6インチ温度制御範囲:室温~200℃温度精度:±1.5%電気容量:900Wサイズ:200×234×54mm重量:約3kg<温度調節器>電源:AC100V 50/60Hzサイズ:98×156×101mm重量:約1.3kg※別途真空ポンプが必要です(推奨ポンプ例:1-9197-02 ダイアフラム型ドライ真空ポンプ DAP-12S)。荷姿サイズ:222×257×40 mm 3 kg [荷姿サイズについて]
商品名 | MSAファクトリー4-1528-04 ウェハホットチャック Φ6 金メッキ PH201K-06 |
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商品コード | 4-1528-04 |
標準価格 | 486,000円(税抜き) |
会員価格 | 457,412円*(税抜き) |
JANコード | 0000000000000 |
発注単位 | 1個 |
発送目安 | 申込後24日程度 |
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メーカー |
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