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【特徴】気体の正確な質量流量制御が可能です。高信頼性のサーマルセンサーやソレノイドバルブを搭載しています。高速応答で流量設定値まで2秒以内です。【仕様】フルスケール流量／接続：20SLM接続口径：1/4inchSW測定ガス種：He入数：1個接ガス部材質：SUS316L、バイトン、PTFE、磁性ステンレスバルブ形式：非通電時 閉（クローズ）：C流量制御範囲：0～50LM／2～100％FS、100LM～／5～100％FS応答速度：0～50LM／1秒以内、100LM～／2秒以内流量精度：±1.0％F.S.（15℃～35℃）繰り返し再現性：±0.2％F.S.（15℃～35℃）耐圧：1MPa（G）外部リークレート：1×10-8Pa・m3/s（He）以下流量設定信号：0.1～5VDC流量出力信号：0-5VDC駆動電源：DC±15V標準継手：0～50LM／1/4inch Swagelok相当 面間=127mm、100LM・200LM／3/8inch Swagelok相当 面間=181mm
| 商品名 | 4-4268-06 マスフローコントローラー（エコノミーモデル）20SLM He S48-32-HMT,,MFC-20SLM-4IS-He |
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| 商品コード | 4-4268-06 |
| 会員価格 | 99,500円*(税抜き) |
| JANコード | 0000000000000 |
| 発注単位 | 1個 |
| 発送目安 | 通常お申込後81日程度 |
| カタログ | |
| メーカー |
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