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【特徴】気体の正確な質量流量制御が可能です。高信頼性のサーマルセンサーやソレノイドバルブを搭載しています。高速応答で流量設定値まで2秒以内です。【仕様】フルスケール流量/接続:30SLM接続口径:1/4inchSW測定ガス種:Air入数:1個接ガス部材質:SUS316L、バイトン、PTFE、磁性ステンレスバルブ形式:非通電時 閉(クローズ):C流量制御範囲:0~50LM/2~100%FS、100LM~/5~100%FS応答速度:0~50LM/1秒以内、100LM~/2秒以内流量精度:±1.0%F.S.(15℃~35℃)繰り返し再現性:±0.2%F.S.(15℃~35℃)耐圧:1MPa(G)外部リークレート:1×10-8Pa・m3/s(He)以下流量設定信号:0.1~5VDC流量出力信号:0-5VDC駆動電源:DC±15V標準継手:0~50LM/1/4inch Swagelok相当 面間=127mm、100LM・200LM/3/8inch Swagelok相当 面間=181mm
商品名 | 4-4269-03 マスフローコントローラー(エコノミーモデル)30SLM Air S48-32-HMT,,MFC-30SLM-4IS-Air |
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商品コード | 4-4269-03 |
会員価格 | 99,500円*(税抜き) |
JANコード | 0000000000000 |
発注単位 | 1個 |
発送目安 | 通常お申込後81日程度 |
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